白崎博公

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白崎 博公(しらさき ひろきみ、1952年3月 - )は、日本の工学者。現在は玉川大学工学部機械情報システム学科教授。電磁波・光解析が専門。弾性表面波、導波管、マイクロストリップ線路の研究を経て、現在はスキャトロメトリ(光波散乱計測、Scatterometry)の研究開発を行っている。工学博士大阪大学)。福井県出身。

主な経歴[編集]

その後学科改組により、現在は玉川大学工学部機械情報システム学科教授。

主な研究論文[編集]

弾性表面波
  • 白崎博公 , 牧本利夫,"Cubic結晶における弾性表面波のエネルギー伝搬特性",電子情報通信学会論文誌B vol.J59-B No.12,(1976-12-20)
  • H.Shirasaki and T.Makimoto,"Energy propergation properties of piezoelectric surface waves on cubic crystals," J.Appl.Phys., Vol.49(2), pp.658-660 (1978).
  • H.Shirasaki and T.Makimoto,"Asymptotic expression for piezoelectric surface waves excited by the buried mechanical and electrical point sources," J.Appl.Phys., Vol.49(2), pp.661-666 (1978).
  • H.Shirasaki and T.Makimoto,"Gaussian curvature of the slowness surface for piezoelectric surface waves on a cubic crystal," J.Appl.Phys., Vol.50(4), pp.2795-2798 (1979).
マイクロ波・ミリ波テーパ導波管
テーパ形マイクロストリップ線路
  • 白崎博公、"直線およびn乗コサインテーパ形マイクロストリップ線路の導波管モデルによる階段近似解析”、電子情報通信学会論文誌, C1, Vol.J79-C-1, 8, pp.303-309(平08-8-25).
  • H. Shirasaki,"Steps approximate analysis and design charts of raised cosine impedance tapered microstrip lines by waveguide model", 1997 6th Internal Symposium on Recent Advances in Microwave Technology Proceedings, pp.187-190(1997-08-06).
  • H.Shirasaki :"Optimum design by waveguide model and mode matching technique of microstrip line taper shapes for satellite broadcast planar antenna," 1999 IEEE AP-S International symposium and USNC/URSI national radio science meeting, AP-16-065,Vol.1,pp.238-241(1999-7).
  • H.Shirasaki :"Steps approximate analysis by waveguide models of Klopfenstein and Hecken type microstrip line tapers," International union of radio science(URSI), XXVI General assembly, B1.P.7,p.45(1999-8). --at University of Toront , Toronto, Canada.
  • H.Shirasaki :"Design charts by waveguide model and mode matching techniques of microstrip line taper shapes for satellite broadcast planar antenna," 2000 IEEE AP-S International symposium and USNC/URSI national radio science meeting, P-88-1,Vol.1,pp.2000-2003(2000-7-20).
  • H.Shirasaki :``The design charts by waveguide model and mode matching techniques of microstrip line taper shapes for Klopfenstein and Hecken type microstripline tapers, 2000 Asia Pacific microwave conference, P-158, pp.1253-1256(2000-12-5).
光波散乱計測(スキャトロメトリ、Scatterometry)
  • H.Shirasaki, N Kondo, A. Abematsu, "Delay Properties of Optical Wave in Semiconductor Trench for Depth Measurement Using Interferencd Spectroscopy ," Jpn. J. Appl. Phys., Vol 32. Part 1, No. 8, pp.3502-3506(1993-8).
  • H.Shirasaki, "Shape Measurement Simulation for the Silicon Trench Array by Scattering Properties and Continuous Wavelet Analysis with Interference Spectroscopy,"SPIE's 27th annual symposium on microlithography, 4689-75, pp.1-8 (2002-3-4).
  • Hirokimi Shirasaki,Kunio Ueta, Noriyuki Kondou,"Resist and Silicon Trench Array Linewidth Measurement Simulations for the Next-Generation Semiconductor Circuits by Optical Scattering Properties Using the FDTD Method",Proc. of SPIE, Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVII,5038, pp.748-756(2003)
  • Hirokimi Shirasaki,Kunio Ueta,"Linewidth measurement simulations for semiconductor circuits by scatterometry using the FDTD and the time shortening calculation method",Proc. of SPIE, Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVIII, 5375, pp.1331-1338(2004)
  • Hirokimi Shirasaki,"Arbitrary 3D linewidth forms measurement simulations for the next-generation semiconductor circuits by scatterometry using the FDTD method",Proc. of SPIE, Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVIII, 5375,pp.1339-1345(2004)
  • Hirokimi Shirasaki,"Arbitrary Cross Sections and Stack Forms Measurement Simulations for Semiconductor Circuits by Scatterometry ",Proc. of SPIE, Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XIX, 5752,pp.790-797(2005)
  • Hirokimi Shirasaki,"3D Isolated and Periodic Grooves Measurement Simulations for the Semiconductor Circuits by Scatterometry Using the FDTD Methods and the Time Shortening Calculation Method.", Proceedings of SPIE, Microlithography 2006,6152, pp.61523O1-61523O8(2006)
  • Hirokimi Shirasaki,“ 3D anisotropic semiconductor grooves measurement simulations (scatterometry) using FDTD Methods.”,Proceedings of SPIE, 65184D 1-8 (2007)
  • Hirokimi Shirasaki,“3D Semiconductor Grooves Measurement Simulations (Scatterometry) using Nonstandard FDTD Methods”,Proceedings of SPIE, 6922, 69223T 1-9(2008)
  • Hirokimi Shirasaki,“Scatterometry simulator for multi-core CPU”, Proceedings of SPIE, 7638, 7638V 1-6(2010)
  • 白﨑博公,“スキャトロメトリにおけるナノ形状センシング”,光波センシングのための偏光技術の進展シンポジウム・2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会 講演予稿集 2011 26p-BJ-7(2011)(招待講演)
  • H. Shirasaki, "Scatterometry simulator using GPU and Evolutionary Algorithm," Proc. SPIE, 7971, 79711T1-79711T7 (2011).
  • Hirokimi Shirasaki,"Scatterometry simulator development with GPU, real-coded GA and RCWA" Proc. SPIE 8681, Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXVII, 86811B1-86811B7 (April 10, 2013)
  • Hirokimi Shirasaki,"Isolation mounts scatterometry with RCWA and PML",Proc. SPIE 9050, Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXVIII, 90502K (April 2, 2014)
  • Hirokimi Shirasaki,“ 3D isolation mounts scatterometry with RCWA and PML”, *Hirokimi Shirasaki, Proceedings of SPIE, 9424, 9424211-9424217 (2015).
スキャトロメトリ解説記事
GPUスパコン構築
著書
  • H.Shirasaki,(Co-author),Editor:S. G. Pandalai,"Recent reserch developments in electronics & communications:Taper shape design charts for Klopfenstein and Hecken type microstripline tapers by mode matching and FDTD techniques" ISBN 81-7895-055-3,pp.149-158, Transworld research network,Vol.1,Part II,(2002)
  • 白﨑博公他、”Q&A付き 光学実務資料集 ~各種応用展開を見据えて~”、 第10章 光学シミュレーション編 (株)情報機構(2006)

主な社会活動[編集]

学生のキャリア教育として、インターンシップや就職活動支援を行っている。「インターンシップ解説ビデオ」(日経映像)にも、出演している。最近は、私立大学情報教育協会・産学連携推進プロジェクト委員として、”若者のイノベーション意欲を高めるための社会スタディ”や”教員の企業現場研修”などを通した活動をしている。
  • 白﨑博公他,“インターンシップ解説ビデオ(全3巻)”,インターンシップ推進センター監修,日経映像(2003).
  • 白﨑博公,“実習担当を長年続けた教員から見たインターンシップ事例報告”,2005年度東京地区インターンシップ成果報告会,東京経営者協会(2005.10).
  • 白﨑博公,“「ハイパーキャンパス」を有効利用”,2003年度インターンシップ成果報告書,p.84,インターンシップ推進支援センター(東京経営者協会内)(2003.12).
  • 白﨑博公,“大学編:玉川大学”,インターンシップ活用の手引き,pp.51-53,インターンシップ推進支援センター,東京経営者協会(2006.3).
  • 白﨑博公,“インターンシップ担当として14年”,平成19年度インターンシップ成果報告書,pp.104-105,東京経営者協会(2008.1).
  • 白﨑博公、福田靖、"キャリア教育とインターンシップ”、玉川大学工学部紀要、47.29-35 (2012)