酸化物半導体

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酸化物半導体(さんかぶつはんどうたい)は、半導体の一つ。金属カチオンとして用いたものが大多数で、多くが広いバンドギャップを有し、可視光域の電磁波を透過する。中には高い電荷担体濃度や移動度を示すものもあり、これらの特徴を用いた様々な用途が考案されている。代表的なものに酸化亜鉛二酸化スズ酸化インジウムITO(通常In2O3:SnO2 = 90:10 [wt%])がある。多くは電子を電荷担体としたn型であるが、酸化銅酸化銀、また一酸化スズなどの正孔を電荷担体としたp型も報告されている。代表的な用途としては透明伝導膜や超伝導センサーなどが研究されている[1][2][3]

脚注[編集]

  1. ^ Ito, M. "透明アモルファス酸化物半導体の電子ペーパーへの応用 (Application of Amorphous Oxide Semiconductor for e-papers)."
  2. ^ Kumomi, H. "アモルファス酸化物半導体 TFT とその OLED 駆動素子への応用 (Amorphous Oxide Semiconductor-Based TFT and Its Application for OLED)." 132.
  3. ^ 玉置純, et al. "Co 3 O 4-Fe 2 O 3 複合体を用いた酸化物半導体センサの NO x 検知特性." 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 118.2 (1998): 125-129.

参考文献[編集]

  • 田村英雄, 米山宏. "酸化物半導体の電気化学特性 (電気化学の固体化学への応用< 特集>)." 電気化学および工業物理化学 48.6 (1980): p335-343.
  • 竹森, 若林, 白江. "金属酸化物半導体ガスセンサを用いたガス識別システム, 第 4 回化学センサ研究発表会." (1985).
  • 西原美一. "遷移金属酸化物の電子構造と物性." 日本物理学会誌 49.10 (1994): 811-818.
  • 三浦則雄, et al. "牛肉の鮮度評価を目指した酸化物半導体ガスセンサの開発." 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 117.6 (1997): 306-313.
  • 細野秀雄. "酸化物半導体: 総論 (小特集 酸化物エレクトロニクスの進展と将来展望)." 電子情報通信学会誌 97.3 (2014): 178-186.

関連項目[編集]